Vol. 24 Núm. 4 (2014), Artículos

Vol. 24 Núm. 4 (2014)

Síntesis, caracterización micro-estructural y óptica de películas delgadas de LiNbO3 depositadas mediante depósito químico de vapor asistido por aerosol

Artículos

https://doi.org/10.15174/au.2014.623

Publicado 2014-08-21

Jose Guadalupe Murillo⁺⁻
Patricia Amézaga⁺⁻
Mario Miki⁺⁻
J. A. Ocón-Arellanes

Jose Guadalupe Murillo

Centro de Investigación en Materiales Avanzados S. C.

Patricia Amézaga

Centro de Investigación en Materiales Avanzados S. C.

Mario Miki

Centro de Investigación en Materiales Avanzados S. C.

J. A. Ocón-Arellanes

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Murillo, J. G., Amézaga, P., Miki, M., & Ocón-Arellanes, J. A. (2014). Síntesis, caracterización micro-estructural y óptica de películas delgadas de LiNbO3 depositadas mediante depósito químico de vapor asistido por aerosol. Acta Universitaria, 24(4), 21–26. https://doi.org/10.15174/au.2014.623

Resumen

En este trabajo se reporta la síntesis, la caracterización micro-estructural y las propiedades ópticas de películas delgadas de niobato de litio (LiNbO3) depositadas sobre sustratos de silicio mediante el método de depósito químico de vapor asistido por aerosol (AACVD). Las películas depositadas fueron poli-cristalinas, uniformes, densas, no dispersoras de luz y firmemente adheridas al sustrato. Esto se dedujo de la realización de estudios de microscopía electrónica de alta resolución y de mediciones de espectros de reflectancia óptica. Las películas no fueron epitaxiales, sin embargo, se considera que son suficientemente lisas para ser empleadas en aplicaciones de guías de onda ópticas, dado que la rugosidad es muy baja comparada con la longitud de onda de la radiación con posibilidades de uso.

https://doi.org/10.15174/au.2014.623

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